진공 도입 중계 커넥터
특징
- 고객이 원하는 커넥터의 형상, 재질, 전기적 사양을 모두 맞춤형으로 설계 및 제작 가능.
- Out-gas를 최소화하는 설계로 제작된 커넥터로 진공 환경에서 사용 가능.
- 진공 챔버 내에서 센서나 히터의 케이블을 간단하게 탈착 가능.
- 커넥터의 기능으로 대전류, 내열, 비자성 특성 등의 기능 추가 가능.
응용분야
- 평면 패널 디스플레이(FPD) 제조장치의 히터 전원 공급 장치 및 열전대 신호
- 반도체 제조 장치의 정전 척(Electrostatic chuck) 의 전원 공급 장치
- 진공용 반송 로봇의 센서 신호
- 진공용 모터의 전원 및 제어 신호
맞춤형 솔루션 (사례)
Globetech의 진공용 중계 커넥터는 모두 고객 맞춤형으로 제작됩니다. 고객의 요구 사양에 맞추어 커넥터의 극수, 전류, 전압, Locking 기능, 사용 재질 등을 설계합니다.
반도체 제조 공정 중에는 진공상태에서 전기를 통전 시켜, 가혹한 환경 조건에서 24시간 연속적으로 가동을 해야 하기에 높은 안정성을 가진 커넥터가 필요합니다. 또한 센서나 히터의 교환하는 경우도 결함 부품을 용이하게 교환할 수 있는 구조의 커넥터가 필요합니다.
Globetech의 진공용 중계 커넥터는 높은 안정성은 물론, 탈착이 간단하기 때문에 반도체 제조 라인이 멈추는 시간을 줄일 수 있습니다.
사레 1
문제기존의 히터는 나사 체결 방식으로 소모품과 연결을 하였기에 정기적인 유지 관리 작업시에 많은 시간과 작업 비용이 들었다.
해결Globetech의 진공용 중계 커넥터를 도입하여 히터 교환 과정을 간소화 할 수 있었으며, 작업 시간을 대폭 단축 할 수 있었다.
사례 2
문제온도센서가 고장 났을 경우, 해당 부분을 수리하기 위해 엔지니어가 올 때 제조 라인을 장시간 정지시켜야 하는 어려움이 있었다.
해결Globetech의 진공용 중계 커넥터를 도입함으로써 커넥터의 탈착만으로 부품 교체가 가능하였으며, 제조 라인 담당자 스스로가 온도센서를 교체할 수 있게 되었다. 그 결과 제조 라인의 정지 시간이 단축되었다.
사례 3
문제대기용 커넥터를 진공 환경에서 사용하였는데, Out-gas가 발생하여 제조 품질에 문제가 생겼다.
해결Globetech의 진공용 중계 커넥터는 Out-gas의 발생을 최소화하는 소재를 사용하고 있어 Out-gas로 인한 제조 장치의 오염을 방지하여 제조 손실을 줄일 수 있었다.
컨택트 부품
통전부의 소켓 컨택트 및 핀 컨택에 대해서는 표준 제품을 사용하고 있습니다. 일반적 신호용이나 전류 통전용일 경우 #16, #12, #8의 컨택트의 사용을 권장합니다. 열전대 신호의 경우는 K 타입, E 타입, T 타입의 컨택트의 라인업을 갖추고 있습니다.
보다 높은 대전류의 통전이나 내열성 기능을 갖춘 커넥터가 필요한 경우 고객 맞춤형 제작도 가능합니다.