반도체, FPD 제조 장치 애플리케이션 예
Our Solution
반도체 생산 장비와 액정 · 유기 EL 등 평면 패널 디스플레이(FPD) 생산 장비의 실리콘 및 유리 기판에 회로를 형성하는 과정에는 히터 전원, 열전대, 플라즈마 전원에 대응하는 커넥터가 필요합니다.
이러한 커넥터는 진공, 고온, 고전류 및 고주파와 같은 거친 환경을 견뎌야 하므로 범용 커넥터를 사용할 수 없습니다.
Globetech의 맞춤 제작 커넥터는 형태와 소재 면에서 유연한 대응이 가능해 에칭, 스퍼터링, 증착, CVD, PVD, 이온 주입 장치 등에 다년간 사용되어 왔습니다.
반도체와 FPD 생산 장비용 커넥터에 대한 자세한 내용은 Globetech에 문의하세요.
특징
- 실링 기술을 사용하여 진공 챔버의 내부와 대기를 연결하는 밀폐형 커넥터.
- 주문 제작에 의해 구현되는 진공 커넥터, 고온용 내열 커넥터.
- 대전류 통전에 적합한 전기 접점 기술을 이용한 고주파 커넥터.
제품
- 에칭 장치
- 스퍼터링 장치
- 진공 증착 장치
- CVD 장치
- PVD 장치
- 이온 주입 시스템 장치
진공 커넥터
다음과 같은 경우 밀폐형 커넥터가 최적의 솔루션입니다.
- 진공 상태를 유지하면서 공기 중에서 히터 등 대전류 전원 장치를 도입하는 경우.
- 열전대 센서 및 기타 진공 장치의 전기 신호가 대기 측정 기기로 전송되는 경우.
또한 진공 내부에서 탈착하는 커넥터의 경우 아웃 가스의 발생이 적은 소재만을 사용한 진공 릴레이 커넥터를 제안합니다.
밀폐형 커넥터와 진공 릴레이 커넥터를 조합하면 유지 관리 시간을 대폭 단축시킬 수 있습니다.
더 보기대전류/고주파 전원용 커넥터
히터 전원, 직류 전원, 플라즈마 생성에 사용되는 고주파 전원은 매년 대전류화되고 있어 접속부의 신뢰성를 향상시키는 것이 중요합니다. 따라서 대전류에서도 안정적인 통전을 실현하는 커넥터를 채택해야 합니다.
Globetech의 대전류/고주파 전원용 커넥터는 컨택트 밴드 및 코일 스프링 컨택트를 사용하여 주문 제작되므로 열 발생과 접촉 불량 등을 억제한 안정적인 통전이 가능합니다.
또한 소재 선정을 통해 진공 기능 및 내열 기능을 추가할 수 있습니다.
더 보기고온용 내열 커넥터
실리콘 웨이퍼와 유리 기판은 히터를 사용해 고온 환경에서 성막 공정이 이뤄지기 때문에 히터 근처에서 사용하는 커넥터도 고온에 노출됩니다.
Globetech의 고온용 내열 커넥터는 고객사 애플리케이션의 온도 설정에 적합한 재료를 사용하여 설계합니다. 주문 제작 커넥터의 전기 접점에는 구리합금, 코넬 등의 내열성 스프링 소재를 사용할 수 있으며 진공 환경에서의 사용을 고려한 고온용 내열 커넥터도 제작이 가능합니다.
더 보기RF 그라운딩 접속부
진공 챔버에서 플라즈마를 생성하는 장치에서는 챔버에도 고주파가 흐르고 있어 스테인리스 또는 알루미늄 컨테이너의 접합부에 전기 접점을 사용해야 합니다. Globetech의 컨택트 밴드는 지름 100mm의 큰 직경에 사용이 가능하므로 진공 컨테이너의 대용량 접지 연결에도 사용이 가능합니다. 스파이럴 쉴드 및 쉴드 핑거에 비해 설치가 간단하고 접촉면을 흠집 낼 가능성이 적으며 대전류 통전에 적합한 접점입니다.
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